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Plasma机台作业，每Lot最多放多少片wafej
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Plasma使用的测机片胶厚硬烤后是多少
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8inch是指wafer直径为多少mm
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打开易燃液体的桶盖时可以采用铁质开桶工具
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sputter待料状态时，在显示屏上的各作业腔室的状态显示 为
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压缩气体不属于危险化学品
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scrubber清洗采用的是什么溶液
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工厂主要危险源有
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等离子机台工作需要用到的工艺气体是N2
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DIW代表什么

答案：纯水

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机台在作业过程中下面说法不正确的是

A. 禁止任何人触摸机台

B. 禁止打开门

C. 禁止调动水流量大小

D. 可以开门

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Plasma机台作业，每Lot最多放多少片wafej

A. 12

B. 13

C. 25

D. 24

https://www.shititong.cn/cha-kan/shiti/00027a4f-3415-7849-c0cf-0489c73d3400.html
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Plasma使用的测机片胶厚硬烤后是多少

A. 5um

B. 10um

C. 15um

D. 20um

https://www.shititong.cn/cha-kan/shiti/00027a4f-3415-68df-c0cf-0489c73d3400.html
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8inch是指wafer直径为多少mm
https://www.shititong.cn/cha-kan/shiti/00027a4f-3415-20a9-c0cf-0489c73d3400.html
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打开易燃液体的桶盖时可以采用铁质开桶工具
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sputter待料状态时，在显示屏上的各作业腔室的状态显示 为

A. IDLE

B. Abort

C. Processing

D. Hold

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压缩气体不属于危险化学品
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scrubber清洗采用的是什么溶液
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工厂主要危险源有

A. 火灾

B. 触电

C. 溺水

D. 机械伤害

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等离子机台工作需要用到的工艺气体是N2
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