下列哪一项是sputter机台发生报警时，灯塔的颜色

A. 禁止任何人触摸机台

B. 禁止打开门

C. 禁止调动水流量大小

D. 可以开门

A. 氧化片

B. 客户片

C. 干净的裸硅

D. Ti/Cu片

E.

F.

G.

H.

I.

J.

A. 换新的超净硅

B. 用Scrubber清洗

C. 继续使用

D. 直接报废

A. 关掉错误窗体继续使用

B. 重新启动软件

C. 通知班组长进行确认

D. 等待机台反应

A. IDLE

B. Abort

C. Processing

D. Hold

A. 酒精

B. 氢氧化钠

C. 氢气

D. 硫酸