A、 产品ID
B、 客户ID
C、 LOT ID
D、 产品数量
E、
F、
G、
H、
I、
J、
答案：C
解析：
A、 产品ID
B、 客户ID
C、 LOT ID
D、 产品数量
E、
F、
G、
H、
I、
J、
答案：C
解析：
A. 12-02-FP1–COAT
B. 12-02-FP2-COAT
C. 12-02-FP2
D. 12-02-FP1
A. Particle
B. 划伤
C. 显影不洁
D. Peeling
E.
F.
G.
H.
I.
J.
解析：
A. 日光干涉仪
B. 显微镜
C. RS测厚仪
D. 光学膜厚仪
A. 氧化片
B. 客户片
C. 干净的裸硅
D. Ti/Cu片
E.
F.
G.
H.
I.
J.
解析：
A. 5um
B. 10um
C. 15um
D. 20um
A. 氧化片
B. AZ胶片
C. 干净的裸硅
D. 带钝化胶的片子
