Plasma机台报警，已通知相关人员，但工程人员暂时赶不过 来，自己知道怎么处理时，应怎么办

A. 化学性

B. 物理性

C. 生物性

A. Ti

B. Cu

C. Au

D. TiW

A. 845A

B. 1000A

C. 855A

D. 900A

A. 12-02-FP1-CURE

B. 12-02-FP2-CURE

C. 8-02-FP1-CURE

D. 8-02-FP2-CURL

E.

F.

G.

H.

I.

J.

A. IDLE

B. Abort

C. Processing

D. Hold