测机发现刻蚀量有好多点不在规格，以下做法正确的是

A. 公司级

B. 单位级

C. 工厂级

D. 工序级

A. 5um

B. 10um

C. 15um

D. 20um

A. Ti

B. Cu

C. Au

D. TiW

A. 让他们自己作业

B. 自己给他们作业

C. 通知班组长及当站工程 人员

D. 看情况

A. 12-02-FP1–COAT

B. 12-02-FP2-COAT

C. 12-02-FP2

D. 12-02-FP1

A. IDLE

B. Abort

C. Processing

D. Hold