A、 日光干涉仪
B、 显微镜
C、 RS测厚仪
D、 光学膜厚仪
答案：D
A. 产品ID
B. 客户ID
C. LOT ID
D. 产品数量
E.
F.
G.
H.
I.
J.
解析：
A. 8寸
B. 12寸
C. 8 寸 和 1 2
D. 以上都不行
A. Particle
B. 划伤
C. 显影不洁
D. Peeling
E.
F.
G.
H.
I.
J.
解析：
A. IDLE
B. Abort
C. Processing
D. Hold
