SPTS sputter测机时， 以下哪 个Cu的厚度在规定范围内

A. 忽略掉，继续作业

B. 退出产品，重新加载扫 描

C. 请求其他作业员处理异 常

D. 立即通知班组长处理

A. 钛铜面是否平整

B. 有无沾污

C. 边缘有无缺损

D. peeling

E.

F.

G.

H.

I.

J.

A. lpcs/台

B. lpcs/腔

C. 周两次

D. 每天一次

A.

B.

C.

D.

E.

F.

G.

H.

I.

J.

A. 日光干涉仪

B. 显微镜

C. RS测厚仪

D. 光学膜厚仪

A. 知情权

B. 批评、控告权

C. 索赔权

D. 掌握本职工作所需的安全生 产知识

A. CU厚

B. TI厚

C. 刻蚀量

D. particle

A. 通知当班领班或组长、 技术员、相关工程师

B. 自己处理

C. 通知质量

D. 置之不理