溅射测机需要测直

A. Particle

B. 划伤

C. 显影不洁

D. Peeling

E.

F.

G.

H.

I.

J.

A. 自己改一下数值

B. 通知工艺处理

C. 换片复测，如果再有问 题通知工艺处理

D. 不用管

A. 当做没发生

B. 使用Scrubber清洗一下

C. 打Plasma处理下

D. 通知班组长及工程人员

A. 禁止任何人触摸机台

B. 禁止打开门

C. 禁止调动水流量大小

D. 可以开门

A. 钛铜面是否平整

B. 有无沾污

C. 边缘有无缺损

D. peeling

E.

F.

G.

H.

I.

J.

A. 300±10

B. 400±10

C. 300±9

D. 不需要换槽

E.

F.

G.

H.

I.

J.