Plasma机台测Particle,以下说法正确的是

A. 12-02-FP1–COAT

B. 12-02-FP2-COAT

C. 12-02-FP2

D. 12-02-FP1

A. lpcs/台

B. lpcs/腔

C. 周两次

D. 每天一次

A. <2颗

B. <3颗

C. <5颗

D. <6颗

A. 当做没发生

B. 使用Scrubber清洗一下

C. 打Plasma处理下

D. 通知班组长及工程人员

A. 隐瞒情况，继续作业产 品

B. 使用无尘布对产品进行 擦拭

C. 私自将产品重新清洗

D. 将情况如实反映给班组长及 当站工艺

E.

F.

G.

H.

I.

J.