sputter机台测机时，Cu厚度的规格正确的是5000 ±500nm

A. 8寸

B. 12寸

C. 8 寸 和 1 2

D. 以上都不行

A. 相关方安全协议

B. 相关方质量协议

C. 相关方环保协议

A. 12-02-FP1-CURE

B. 12-02-FP2-CURE

C. 8-02-FP1-CURE

D. 8-02-FP2-CURL

E.

F.

G.

H.

I.

J.

A. 25

B. 12

C. 13

D. 50

A. 日光干涉仪

B. 显微镜

C. RS测厚仪

D. 光学膜厚仪

A. Particle

B. 划伤

C. 显影不洁

D. Peeling

E.

F.

G.

H.

I.

J.

A. CU厚

B. TI厚

C. 刻蚀量

D. particle