A、 直线度
B、 圆度
C、 平面度
D、 垂直度
答案：C
解析：激光干涉仪适合对直线度、圆度、垂直度等误差进行测量，但不适合对平面度误差进行测量。平面度误差通常需要使用其他测量工具或方法来进行检测。因此，本题考察了激光干涉仪的应用范围。
A、 直线度
B、 圆度
C、 平面度
D、 垂直度
答案：C
解析：激光干涉仪适合对直线度、圆度、垂直度等误差进行测量，但不适合对平面度误差进行测量。平面度误差通常需要使用其他测量工具或方法来进行检测。因此，本题考察了激光干涉仪的应用范围。
